| 초록 |
본 발명의 일 실시양태는 제2 금속 마이크로팁(12b, 50b)과 갭(16, 48)을 두고 대향하는 제1 금속 마이크로팁(12a, 50a)을 가진 마이크로팁 마이크로플라즈마 장치이다. 제1 및 제2 금속 마이크로팁은 제1 및 제2 금속 마이크로팁을 전기적으로 절연시키고 물리적으로 접속하는 금속 산화물(14)에 봉입된다.바람직한 장치에서, 제1 및 제2 금속 마이크로팁 및 금속 산화물은 모놀리식 단위 구조를 포함한다. 어레이(62, 64, 66, 86, 92, 100)는 유연할 수 있고, 스택으로 배열될 수 있고, 예를 들어 가스 및 액체 처리 장치, 공기 필터 및 다른 적용 분야를 위해 원통형으로 형성될 수 있다.마이크로팁 마이크로플라즈마 장치의 어레이를 형성하는 바람직한 방법은 내부에 마이크로 개구의 어레이를 갖는 금속 메쉬를 제공한다.금속 메쉬의 전극 영역을 마스킹하고 금속 메쉬의 정해진 접속 금속 산화물 영역은 마스킹되지 않은 상태로 남긴다.정해진 접속 금속 산화물 영역을 전기화학적으로 에칭하여 정해진 접속 금속 산화물 영역을, 대향하는 금속 마이크로팁들을 내부에 봉입하는 금속 산화물로 전환시킨다.마스크를 제거한다. 전극 영역을 전기화학적으로 에칭하여 전극 영역을 금속 산화물에 봉입한다. |
