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케미컬 센서, 케미컬 센서 모듈, 생체분자 검출 장치 및 생체분자 검출 방법

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기관명	NDSL
출원인	소니 주식회사
출원번호	10-2014-7009129
출원일자	2014-04-07
공개번호	20140626
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	고정밀도로 생체분자를 검출하는 것이 가능한 케미컬 센서, 케미컬 센서 모듈, 생체분자 검출 장치 및 생체분자 검출 방법을 제공하는 것이다. 본 기술의 케미컬 센서는, 기판과, 온 칩 렌즈와, 평탄화층을 구비한다. 기판은, 평면형상으로 배열하는 복수의 포토 다이오드가 형성되어 있다. 온 칩 렌즈는, 상기 기판상에 마련된, 입사광을 상기 포토 다이오드에 집광한다. 평탄화층은, 온 칩 렌즈를 피복하여 평탄화하고, 프로브 재료를 지지하기 위한 프로브 지지면을 형성한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147009129
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