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마스킹된 에지를 갖는 지지 링

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7020960
출원일자	2016-07-29
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	반도체 처리를 위한 지지 링이 제공된다.지지 링은 내부 에지와 외부 에지에 의해 정의되는 링 형상 바디를 포함한다.내부 에지 및 외부 에지는 중심 축에 대해 동심이다.링 형상 바디는 제1 면, 제2 면, 및 내부 에지에서 링 형상 바디의 제1 면으로부터 연장되는 상승된 고리형 숄더를 더 포함한다.지지 링은 제1 면 상의 코팅을 또한 포함한다.코팅은 상승된 고리형 숄더에 접하는 감소된 두께 영역의 내부 영역을 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020960
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