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메트롤로지 타겟의 디자인을 위한 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7021003
출원일자	2016-07-29
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	메트롤로지 타겟 디자인의 방법이 설명된다.상기 방법은 메트롤로지 타겟을 형성하거나, 그 형성을 측정하는 공정 파라미터의 섭동에 대한 메트롤로지 타겟 디자인의 파라미터의 민감도를 결정하는 단계; 및 공정 파라미터들 중 적어도 하나의 섭동이 곱해진 민감도의 합에 기초하여 메트롤로지 타겟 디자인의 견고성을 결정하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021003
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