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증착물 보유력을 증가시키기 위한 표면 텍스처링을 위한 기하형상들 및 패턴들

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7009984
출원일자	2016-04-15
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	프로세싱 챔버 컴포넌트, 및 이를 제조하기 위한 방법이 제공된다.프로세싱 챔버 컴포넌트는 본원에서 설명되는 방식으로 제조되고, 챔버 컴포넌트의 표면 상의 적어도 매크로 텍스처의 생성을 포함한다.매크로 텍스처는, 챔버 컴포넌트의 표면 상에 미리 정의된 배향(orientation)으로 배열된 복수의 엔지니어링된 피처들에 의해 정의된다.몇몇 실시예들에서, 엔지니어링된 피처들은, 챔버 컴포넌트 상에 증착된 막들의 보유력을 강화하기 위해, 피처들 사이에 정의되는 가시선 표면의 형성을 방지한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009984
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