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성막 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2016-0097905
출원일자	2016-08-01
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	복수의 기판을 적재 가능한 회전 테이블과, 제1 가스 공급부와, 제2 가스 공급부를 구비하는 성막 장치를 이용한 성막 방법으로서, 상기 제1 및 제2 가스 공급부로부터 산화 가스를 공급하여 상기 회전 테이블을 회전시키는 제1 공정과, 상기 제1 가스 공급부로부터 상기 소정의 원소를 포함하는 반응 가스를 공급하고, 상기 제2 가스 공급부로부터 상기 산화 가스를 공급하여 상기 회전 테이블을 회전시키고, 상기 기판 상에 상기 소정의 원소를 포함하는 산화막을 성막하는 제2 공정과, 상기 제1 및 제2 가스 공급부로부터 상기 산화 가스를 공급하여 상기 회전 테이블을 회전시키는 제3 공정을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160097905
첨부파일

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