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리소그래피 장치용 광학 요소, 이러한 광학 요소를 포함하는 리소그래피 장치 및 광학 요소 생성 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7020693
출원일자	2016-07-27
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	리소그래피 장치는 방위설정된 탄소 나노튜브 시트를 포함하는 광학 요소를 포함한다.상기 광학 요소는 약 20 내지 500 nm 범위의 요소 두께를 가지며, EUV 방사선과의 수직 조사 하에서 약 1 내지 20 nm 범위의 파장을 갖는 EUV 방사선에 대해 적어도 약 20 %의 투과율을 갖는다.상기 방위설정된 탄소 나노튜브 시트는 본질적으로 광학 요소로서 사용될 수 있으며, 잔해를 감소시키고, 및/또는 EUV/원하지 않는 방사선의 비율을 개선하도록 설계될 수 있다.상기 시트는 그 강도로 인해 지지체를 반드시 필요로 하지는 않는다.본 발명의 광학 요소는 지지되지 않을 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020693
첨부파일

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