화학 기상침투 및 화학 기상 증착공정용 장치
기관명 | NDSL |
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출원인 | 굿리치 코포레이션 |
출원번호 | 10-1997-0703374 |
출원일자 | 1997-05-16 |
공개번호 | 20080509 |
공개일자 | 2003-10-30 |
등록번호 | 10-0389503-0000 |
등록일자 | 2003-06-17 |
권리구분 | KPTN |
초록 | 본 발명은 화학 증기 침투 및 증착법(CVI/CVD)에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 CVI/CVD노 내부의 반응 가스를 가열하기 위한 예열기와, 압력 증감 CVI/CVD 법에 의해 다공성 구조물 적층체내에 매트릭스를 증착시키기 위한 고정체에 관한 것이다. 본 발명은 다량의(수백의) 항공기 브레이크 디스크의 동시 CVI/CVD 처리에 특히 적합하다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1019970703374 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | |
주제어 (키워드) |