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충돌 보호 기능을 구비하는 실리콘 웨이퍼 엣지 보호장치

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기관명	NDSL
출원인	상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트 컴퍼니 리미티드
출원번호	10-2016-7018798
출원일자	2016-07-12
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	실리콘 웨이퍼 엣지 보호장치에 있어서, 서보 모터(1)를 구비하는 전기제어모듈, 수직운동기구(3) 및 보호기구(2)를 포함한다. 보호기구(2)는, 서보 모터(1)의 모터축에 고정 연결되며 복수개의 제1 연결부재를 구비하는 커플링(202)과, 수직운동기구(3)에 고정 연결되며 복수개의 제2 연결부재를 구비하는 드라이브 슬리브(203)을 포함한다. 복수개의 제1 및 제2 연결부재 사이는 활동 가능한 방식으로 서로 연결되어, 서보 모터(1)의 모터축이 출력하는 토크가 한정값을 초과하지 않을 경우, 복수개의 제1 및 제2 연결부재는 서로 맞물리고, 서보 모터(1)의 모터축이 출력하는 토크가 한정값을 초과할 경우, 복수개의 제1 연결부재와 복수개의 제2 연결부재의 연결이 차단됨으로써 서보 모터(1)의 회전운동이 수직운동기구(3)로 전달되는 것을 방지한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167018798
첨부파일

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