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플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 장치의 부재의 교환 판단 방법

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2015-0182686
출원일자	2015-12-21
공개번호	20160707
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 플라즈마 처리 장치에 있어서, 처리 용기 내에서 표면의 피막이 열화하거나, 부식이 발생하고 있는 부재를 특정하는 것을 목적으로 한다. 플라즈마 처리 장치의 처리 용기 내에서 플라즈마에 노출되고, 처리 용기의 천판부를 구성하는 마이크로파 투과판(31)을 지지하는 지지 부재(34)의 표면의 피막(C1)과, 지지 부재(34)로부터 계속되는 측벽(2c) 표면의 피막(C2)은, 모두 상이한 재료로 코팅하여 형성되어 있다. 더미 웨이퍼(DW) 상의 파티클을 분석한 결과, 그 성분이 피막(C1)에서 유래되는 경우에는 지지 부재(34)를 교환하고, 피막(C2)에서 유래되는 경우에는 측벽(2c)이 부식, 열화하고 있다고 판단하여 해당하는 부재를 교환한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150182686
첨부파일

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