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3차 아민 중의 전구체의 용액을 이용한 증기 공급원

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기관명	NDSL
출원인	프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하바드 칼리지
출원번호	10-2016-7000097
출원일자	2016-01-04
공개번호	20160218
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 화학 증착 또는 원자층 증착에 사용되는 금속 전구체의 3차 아민 용액에 관한 것이다. 3차 아민 용액은 다수의 장점을 갖는다. 이는 고농도의 비극성 전구체를 이들과 반응하는 일 없이 용해시킨다. 이는 불순물, 예컨대 산소 또는 할로겐을 생성하고자 하는 물질에 공급하지 않거나 이를 에칭 또는 부식시키지 않는다. 기화율은 용질 및 용매가 동시에 증발되고, 높은 인화점을 갖고, 낮은 인화성을 가질 수 있도록 선택될 수 있다. 신속한 증발을 용이하게 하는 소형 액적을 형성하여 용해된 금속 전구체가 분해되는 일 없이 화학 증착 또는 원자층 증착 공정에 증기를 공급할 수 있다. 3차 아민 중 용액은 매우 낮은 융점을 가져서, 이들은 운송, 사용, 또는 저장 동안 분해되지 않는다. 3차 아민은 낮은 독성을 가지고 생분해성이다. 이들은 재생가능한 공급원으로부터 대량으로 이용가능하며 비용도 저렴하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167000097
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