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검사 장치 및 검사용 화상 데이터의 생성 방법, 검사용 표시 장치, 결함 판별 방법 및 검사용 표시 프로그램이 기록된 기억 매체

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
출원번호	10-2014-0032338
출원일자	2014-03-19
공개번호	20141002
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	TDI 센서를 사용한 검사 장치의 검사 정밀도를 향상시킨다. 검사 장치는, 하전 입자 또는 전자파 중 어느 하나를 빔으로서 조사하는 일차 광학계와, 검사 대상을 유지 가능한 이동부로서, 검사 대상을, 일차 광학계에 의한 빔의 조사 위치상을 소정의 방향으로 이동시키는 이동부와, 이동부를 소정의 방향으로 이동시키면서 행하여지는 빔의 검사 대상으로의 조사에 의해 얻어지는 이차 하전 입자의 양을 시간지연 적분 방식에 의해 소정의 방향을 따라 적산하여 적산 검출량으로서 순차 전송하는 TDI 센서와, 하나의 전송으로부터 다음의 전송까지의 기간에 있어서, 하나의 전송으로부터 일정 기간 경과한 후, 다음의 전송까지의 동안, 빔의 검사 대상측으로의 도달, 또는 이차 하전 입자의 TDI 센서로의 도달을 저지하는 저지부를 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140032338
첨부파일

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