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기판 처리 장치

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기관명	NDSL
출원인	세메스 주식회사
출원번호	10-2016-0076703
출원일자	2016-06-20
공개번호	20160707
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 처리 될 기판을 지지하는 기판 지지 부재; 상기 기판 지지 부재를 회전 시키는 회전 구동 부재; 상기 기판 지지 부재의 둘레를 감싸도록 제공되는 용기; 상기 기판 지지 부재의 일측에 위치되고, 제 1 노즐 및 제 2 노즐이 위치되는 부분이 이동 가능한 처리액 공급 유닛; 및 상기 용기의 일측에 위치되고, 상기 처리액 공급 유닛에서 분리된 상기 제 2 노즐이 위치될 수 있는 상면이 단차지게 형성되는 대기 포트를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160076703
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