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도금 장치 및 도금액 관리 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
출원번호	10-2016-0100330
출원일자	2016-08-05
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	도금 장치는, 기판의 표면에 Sn 합금 도금막을 성막하는 장치이다.이 장치는, 내부에 유지한 도금액 중에 불용성 애노드와 기판을 서로 대향시켜 침지시키는 도금조와, 상기 도금조 내의 도금액을 빼내어 도금조로 복귀시키는 도금액 투석 라인과, 상기 도금액 투석 라인 내에 설치되고, 음이온 교환막을 이용한 투석에 의해 도금액으로부터 유리산을 제거하는 투석조와, 상기 도금액 중의 유리산 농도를 측정하는 유리산 농도 분석 장치와, 상기 유리산 농도 분석 장치에 의해 측정된 유리산 농도에 기초하여, 상기 도금액 투석 라인 내를 흐르는 도금액의 유량을 제어하는 제어부를 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160100330
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