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금속산화막의 제조 방법 및 금속산화막

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기관명	NDSL
출원인	도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7021468
출원일자	2016-08-05
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 저비용으로 막 특성(저저항)이 좋은 금속산화막을 제작할 수 있는 금속산화막의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그리고, 본 발명에서는, (A) 아연을 포함하는 용액(5)을 미스트화하고, 당해 미스트화한 용액(5)을 비진공하에서 기판(1)에 대해 분무함에 의해, 기판(1)에 금속산화막(10)을 성막하는 공정과, (B) 금속산화막(10)에 대해, 자외선(13)을 조사함에 의해, 금속산화막(10)의 저항을 내리는 공정을 구비하고 있다. 또한, 공정(B)은, (B-1) 금속산화막(10)의 막두께에 응하여, 조사하는 자외선(13)의 파장을 결정하는 공정과, (B-2) 공정(B-1)에서 결정한 파장을 갖는 자외선(13)을 금속산화막(10)에 조사하는 공정을, 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021468
첨부파일

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