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검사 도구에서의 동적 관리 영역 생성을 위한 시스템 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2018-7005867
출원일자	2018-02-27
공개번호	20180315
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	결함 검사 시스템은 검사 서브 시스템 및 검출기에 통신 가능하게 커플링되는 컨트롤러를 포함한다. 검사 서브 시스템은 조명의 빔을 생성하도록 구성되는 조명 소스, 조명의 빔을 샘플로 지향시키기 위한 조명 광학장치의 세트, 및 샘플로부터 방출되는 조명을 수집하도록 구성되는 검출기를 포함한다. 컨트롤러는 메모리 디바이스 및 프로그램 명령어를 실행하도록 구성되는 하나 이상의 프로세서를 포함한다. 상기 컨트롤러는, 샘플 상의 하나 이상의 피쳐에 대응하는 하나 이상의 타겟 패턴을 결정하도록, 컨트롤러의 메모리 디바이스 내에 저장되는 샘플의 설계 데이터 및 하나 이상의 타겟 패턴에 기초하여 샘플 상에 하나 이상의 관리 영역을 정의하도록, 그리고 검출기에 의해 수집되는 조명에 기초하여 샘플의 하나 이상의 관리 영역 내에서 하나 이상의 결함을 식별하도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187005867
첨부파일

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