처리 시스템 및 디바이스 제조 방법
기관명 | NDSL |
---|---|
출원인 | 가부시키가이샤 니콘 |
출원번호 | 10-2021-7002955 |
출원일자 | 2021-01-28 |
공개번호 | 20210203 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 가요성을 가지는 장척의 시트 기판을 복수의 처리 장치 각각에 장척 방향을 따라서 순차적으로 반송함으로써, 시트 기판에 소정의 패턴을 형성하는 처리 시스템으로서, 복수의 처리 장치는, 시트 기판의 반송 방향에 관해서 상류측에 설치되고 제1 설정 조건에 근거하여 시트 기판을 처리하는 제1 처리 장치와, 하류측에 설치되고 제2 설정 조건에 근거하여 시트 기판을 처리하는 제2 처리 장치를 포함하고, 제1 처리 장치가 시트 기판에 실시한 처리 상태, 또는 처리 오차에 관한 제1 정보를, 시트 기판의 일부에 형성하는 제1 정보 형성 장치와, 시트 기판의 반송로 중에 마련된 정보 독해부에 의해서, 시트 기판에 형성된 제1 정보를 수집하는 정보 수집 장치와, 정보 수집 장치에 의해서 수집된 제1 정보에 근거하여, 제2 설정 조건을 수정하는 제어 장치를 구비한다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020217002955 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | G03F-007/20,B65G-049/06,G03F-007/24,G03F-009/00,H01L-021/677 |
주제어 (키워드) |