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플라즈마 보조 물리 기상 증착원

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기관명	NDSL
출원인	한국기초과학지원연구원
출원번호	10-2013-0009719
출원일자	2013-01-29
공개번호	20140807
공개일자	2014-08-21
등록번호	10-1432514-0000
등록일자	2014-08-14
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 플라즈마를 이용한 물리 기상 증착원 관한 것으로서, 고진공에서 박막을 형성하는 열적 물리 기상 증착원(Thermal Physical Vapor Deposition)에 플라즈마를 결합하는 기술에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020130009719
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