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특허/실용신안

실리콘 웨이퍼 프리 얼라인 장치 및 그 방법

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트 컴퍼니 리미티드
출원번호 10-2016-7020886
출원일자 2016-07-29
공개번호 20160901
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 실리콘 웨이퍼(60)의 회전과 승강 운동을 발생시키는 제1 장치(40), 실리콘 웨이퍼의 평행 이동을 발생시키는 제2 장치(50) 및 광원, 렌즈, 이미지 센서(20)를 포함하는 위치 탐지 장치를 포함하고, 광원으로부터 발산되는 광속은 실리콘 웨이퍼와 렌즈를 경과한 후, 실리콘 웨이퍼의 위치 정보를 이미지 센서로 전송하고, 제1 장치와 제2 장치는 이미지 센서가 획득한 위치 정보에 근거하여 실리콘 웨이퍼의 위치를 조절할 수 있는 실리콘 웨이퍼 프리 얼라인 장치를 제공한다. 또한, TSV에 대해 프리 얼라이닝하는 방법을 더 제공한다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020886
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE H01L-021/68,H01L-021/683,H01L-027/146
주제어 (키워드)