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측정 시스템 및 측정 방법

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2015-0161485
출원일자	2015-11-18
공개번호	20160603
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	(과제) 기존의 플라즈마 에칭 장치를 개조하는 일 없이, 처리 용기 내를 감압 상태로 유지한 채로 포커스 링의 소모량을 측정한다. (해결 수단) 측정 시스템은, 처리 용기(1)와, 탑재대(2)와, 포커스 링(5)을 갖는 플라즈마 에칭 장치(101)에 있어서의 포커스 링(5)의 소모량을 측정하는 측정 시스템으로서, 거리 센서(23)가 마련된 센서 기판(20)과, 포커스 링(5)의 소모량을 측정하는 측정 장치(30)를 구비한다.측정 장치(30)는, 반송 장치(110)에 지시하여, 측정 장치(30)를 처리 용기(1) 내에 반송시키는 반송 지시부(36)와, 거리 센서(23)가 측정한, 거리 센서(23)로부터 포커스 링(5)까지의 거리에 따른 물리량의 정보를 취득하는 취득부(33)와, 취득한 물리량의 정보에 근거하여, 포커스 링(5)의 소모량을 측정하는 측정부(35)를 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150161485
첨부파일

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