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박막 형성 방법 및 박막 형성 장치

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2016-0056765
출원일자	2016-05-10
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 양호한 특성을 갖는 박막을 형성할 수 있는 박막 형성 방법 및 박막 형성 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 박막 형성 방법은, 제1 원료 가스와 제2 원료 가스를 반응실 내에 공급하는 제1 공정과, 제1 원료 가스의 공급을 정지하고, 제2 원료 가스를 반응실 내에 공급하고, 반응실 내의 압력을 제1 공정에서의 압력과 비교해서 높게 하는 제2 공정을 구비하고, 제1 공정과 제2 공정을 교대로 복수회 반복함으로써, 반응실 내에 수용된 피처리체에 박막을 형성한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160056765
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