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레이저 생성 플라즈마 EUV 광원 내의 소스 재료 전달 장치 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7017812
출원일자	2016-07-01
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	가스가 소스 재료의 흐름과 평행하게 흘러서 가스 슈라우드를 형성하게 하는 디바이스 및 방법이 개시된다.가스 슈라우드는 소스 재료의 흐름이 가스의 교차 흐름에 의하여 방해받지 않도록 보호할 수 있다.가스 슈라우드는 또한 소스 재료가 통과하는 물리적 슈라우드가 가열되는 것을 제한하고, 소스 재료가 조사되는 동안에 형성되는 플라즈마 버블을 변형함으로써 물리적 슈라우드에 소스 재료가 누적되는 것을 제한함으로써, 플라즈마 버블이 물리적 슈라우드에 너무 가깝게 가지 않게 할 수 있다.또한, 가스 슈라우드가 소스 재료가 조사되는 동안에 생성된 광을 수집하기 위하여 사용되는 광학기의 소스 재료 오염을 야기하지 않도록, 가스의 추가적 횡방향 흐름을 구축하기 위한 디바이스 및 방법이 개시된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017812
첨부파일

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