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특허/실용신안

조인트 벨로우즈

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 김용수
출원번호 10-2014-0114048
출원일자 2014-08-29
공개번호 20150212
공개일자 2015-02-09
등록번호 10-1491438-0000
등록일자 2015-02-03
권리구분 KPTN
초록 본 발명은 조인트 벨로우즈에 관한 것이다. 이에 본 발명의 기술적 요지는 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 공정이 요구되는 반도체, 액정, 태양전지 등의 제조 설비를 포함한 각종 산업 설비에 있어서, 펌프(PUMP) 및 배관로(진공라인) 중간에 연결체로 장착되는 2중관식 조인트 벨로우즈에 관한 것으로, 상기 2중관식 조인트 벨로우즈는 다수개의 관절링이 일련의 다관절관을 이루도록 하되, 상기 다관절관의 관로는 축방향을 기준으로 설정된 각도에 따라 구부러지거나 축선이 가변될 수 있도록 형성되어 공정 진행 중 배기 가스(DCS가스)로부터 발생되는 침적물이 배관 내부에서 굳어져 쌓이지 않도록 하는 바, 이는 배관 정비작업을 현저하게 감소시켜 설비 가동율을 크게 개선하도록 형성되고, 사후 유지보수 등의 부작업이 절감되어 기업 이윤이 크게 향상되는 것을 특징으로 한다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140114048
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE H01L-021/02,H01L-021/205
주제어 (키워드)