용융물 정제 및 배송 시스템
기관명 | NDSL |
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출원인 | 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. |
출원번호 | 10-2016-7021258 |
출원일자 | 2016-08-03 |
공개번호 | 20160818 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 용융물을 정제하기 위한 장치가 개시된다. 챔버 내의 용융물의 제 1 부분은 제 1 방향으로 응고된다. 제 1 부분의 일부는 제 1 방향으로 용융된다. 용융물의 제 2 부분은 응고된 상태로 남아 있다. 용융물은 챔버로부터 흐르고, 제 2 부분은 챔버로부터 제거된다. 응고는 용융물 및 제 2 부분에서 용질들을 응축시킨다. 제 2 부분은 높은 용질 농도를 갖는 슬러그(slug)일 수 있다. 이 시스템은 예를 들어, 펌프들, 필터들, 또는 입자 트랩들과 같은 다른 부품들과 함께 시트 형성 장치에 통합될 수 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021258 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | C30B-013/16,B01D-009/00,C01B-033/02,C30B-013/14,C30B-029/06,H01L-021/02 |
주제어 (키워드) |