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물리 기상 증착 챔버에서 활용되는 바이폴라 콜리메이터

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7013645
출원일자	2016-05-23
공개번호	20160630
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 물리 기상 증착 챔버에 배치된 바이폴라 콜리메이터를 포함하는 장치, 및 그러한 장치를 사용하는 방법들을 제공한다.일 실시예에서, 장치는, 내부에 프로세싱 구역을 정의하는, 챔버 바디 및 그러한 챔버 바디 상에 배치된 챔버 덮개, 프로세싱 구역에 배치된 콜리메이터, 및 콜리메이터에 커플링된 전력 소스를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167013645
첨부파일

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