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비접촉 광학 방법을 이용한 포토리소그래피 마스크를 위치시키기 위한 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	포걀 나노떼끄
출원번호	10-2016-7015942
출원일자	2016-06-15
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 웨이퍼(11)의 노광을 위하여 상기 웨이퍼(11)의 표면에 대하여 마스크(10)를 위치시키기 위한 장치에 관한 것으로서, (i) 서로에 관하여 상기 웨이퍼(11) 및 상기 마스크(10)를 잡고 이동하기에 적절한 제1 포지셔닝 수단(20), (ii) 적어도 하나의 시야(14)에서 동시에 상기 마스크(10) 및 상기 웨이퍼(11)의 포지셔닝 마크들(12, 13)을 이미징하기 위해, 상기 시야(14)에 따라 상기 웨이퍼(11)의 표면 및 상기 마스크(10) 중 적어도 하나의 이미지를 생성하기에 적절한, 이미징 수단(20, 22, 23, 30), 및 (iii) 적어도 부분적으로 상기 이미징 수단을 통해 지나가는 측정 빔(28)을 가지고 상기 시야(14)(들)에서 상기 마스크(10)와 상기 웨이퍼(11)의 표면 사이의 거리 측정을 생성하기에 적절한, 적어도 하나의 광학 거리 센서(26)를 포함한다. 본 발명은 또한 이 장치 및 장비에 구현되는 방법에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167015942
첨부파일

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