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형태학적으로 제어된 고체를 이용한 고체 전구체계 유체 운반

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기관명	NDSL
출원인	엔테그리스, 아이엔씨.
출원번호	10-2016-7016576
출원일자	2016-06-21
공개번호	20160707
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 장치 및 방법은, 증기 내에 입자가 생성 또는 존재하기 쉬운 소스 반응물을 기화시키는 것에 관한 것으로서, 그러한 입자의 생성 또는 존재가 증기 발생 시스템의 구조적 또는 처리적 특징에 의해 억제된다.그러한 장치 및 방법은 액체 및 고체 소스 반응물, 특히 예를 들면 하프늄 할라이드 등의 금속 할라이드와 같은 고체 소스 반응물에 적용할 수 있다.하나의 특정 실시예에서, 소스 반응물은 다공성 모놀리스 벌크 형태의 소스 반응물 재료로 구성된다.본 발명의 장치 및 방법은 원자층 증착(ALD) 및 이온 주입과 같은 용례를 위한 소스 반응물 증기를 제공하는 데에 이용하기에 유용하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016576
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