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메트롤로지 타겟의 디자인을 위한 방법 및 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7021007
출원일자	2016-07-29
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판 상에 사용되는 메트롤로지 타겟을 선택하는 시스템 및 방법이 개시되며, 이는 각각의 제안된 타겟에 대하여 공정 윈도우 구역 상의 복수의 지점들에 대해 리소그래피 시뮬레이션을 수행하는 단계, 각각의 제안된 타겟에 대하여 여하한의 복수의 지점들에 대해 치명적 오류를 식별하는 단계, 여하한의 복수의 지점들에서 치명적 오류를 갖는 각각의 타겟을 제거하는 단계, 여하한의 복수의 지점들에서 치명적 오류를 갖지 않는 각각의 타겟에 대하여 공정 윈도우에 걸쳐 파라미터를 결정하도록 메트롤로지 시뮬레이션을 수행하는 단계, 및 타겟 품질을 평가하도록 1 이상의 결과적인 결정된 시뮬레이션 파라미터를 이용하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021007
첨부파일

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