| 초록 |
본 발명은 소지이동식 플라즈마 방전의 나노 코팅층 제조설비에 관한 것으로, 상세하게는,반응 챔버(1)를 포함하고,반응 챔버(1)에 형성된 공간 내부에 설치된, 플라즈마를 방전하는 데 사용하는 전극(2);반응 챔버(1)에 연결되어 배기관, 1급 진공 펌프와 2급 진공 펌프를 포함하고, 배기관과 반응 챔버(1)가 서로 연결되며, 배기관이 차례대로 2급 진공 펌프와 1급 진공 펌프를 연결하는, 진공 환경을 형성하는 데 사용하는기체추출식 진공배기장치;가스 운송과, 단량체 증기 유입 통과에 사용하는 가스관;전극(2)이 형성된 공간 내부에 설치된, 소지를 설치하는 데 사용하는 소지고정장치를 더 포함하며,상기 소지고정장치는 非고정방식으로 전극(2)이 형성된 공간 내부에 설치되고, 소지는 소지고정장치에 고정되어 장착되며, 소지고정장치는 이동기구가 설치되고 상기 소지고정장치는 이동기구의 유도하에 전극이 형성된 공간 내부에서 이동하되, 그 이동방식은 공간왕복이동, 평면왕복이동, 원주이동, 타원형 원주이동, 구면이동, 행성이동 또는 기타 불규칙적 노선 이동이 포함되는 것을 특징으로 하는 소지이동식 플라즈마 방전의 나노 코팅층 제조설비에 관한 것이다.본 발명은 또한 소지이동식 플라즈마 방전의 나노 코팅층 제조방법을 더 공개하였다. |
