| 초록 |
가스 배관 모니터링 장치가 개시된다. 개시되는 가스 배관 모니터링 장치는 반도체 제조를 위한 설비에 가스를 공급하는 가스 배관에 설치되어, 상기 가스 배관 내의 파티클 축적과 상기 가스 배관 내의 가스 역류 중 적어도 하나를 감지할 수 있는 감지 센서; 및 상기 감지 센서에서 감지된 감지값을 수신하는 신호 수신부와, 상기 신호 수신부에서 수신된 정보를 처리할 수 있는 중앙 제어부와, 상기 중앙 제어부에서 처리되는 정보를 저장하는 저장부와, 상기 중앙 제어부에서 처리되는 정보를 외부의 정보 단말기로 송신하고 상기 정보 단말기에서 정보를 수신받을 수 있는 외부 정보 단말 연결부와, 상기 중앙 제어부에서 처리되는 정보를 외부의 오류 검출 컨트롤러(FDC, fault detection controller)로 전달하는 오류 검출 컨트롤 연결부와, 상기 중앙 제어부에서 처리되는 정보에 따라 외부 알람을 표시할 수 있는 외부 알람 표시부를 포함하는 연산 모듈 부재;를 포함하고, 상기 감지 센서는 내부에 가스 수용 홀이 형성된 센서 몸체와, 상기 센서 몸체에 설치되어 상기 가스 수용 홀로 유입된 가스가 이온화될 수 있도록, 상기 가스 수용 홀로 유입된 가스에 유브이(UV)를 조사하는 유브이 램프(UV lamp)와, 상기 유브이 램프에 의해 조사된 유브이에 의해 이온화된 양성자의 양을 감지하는 일렉트로 바이어스 바아(electro bias bar)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 개시되는 가스 배관 모니터링 장치에 의하면, 가스 배관 모니터링 장치가 감지 센서; 신호 수신부와, 중앙 제어부와, 저장부와, 외부 정보 단말 연결부와, 오류 검출 컨트롤 연결부와, 외부 알람 표시부를 포함하는 연산 모듈 부재;를 포함함으로써, 반도체 등의 제조를 위한 반응 챔버 등에 가스를 공급하는 가스 배관 내에서의 파티클 퇴적 및 가스 역류 여부를 실시간으로 모니터링할 수 있게 되는 장점이 있다. |
