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도데카카르보닐트리루테늄의 제조 방법 및 제조 장치

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기관명	NDSL
출원인	다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7012228
출원일자	2016-05-10
공개번호	20160623
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, DCR의 제조 방법에 있어서, 대량의 조DCR도 효율적으로 승화시킬 수 있고, DCR을 안정 공급할 수 있는 방법을 제공한다.또한, 이러한 제조 방법에 적용 가능한 승화 장치에 관한 것이다.도데카카르보닐트리루테늄(DCR)으로 이루어지는 화학 증착 원료용의 유기 루테늄 화합물의 제조 방법에 있어서, 승화법에 의해, 조DCR로부터 불순물 원소를 분리하여 DCR을 정제하는 공정을 구비하고, 정제 공정에서는 일산화탄소 농도 30∼100%의 분위기하에서 조DCR을 가열하여 승화시킨 후, 냉각하여 DCR을 석출시키는 DCR의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에 의해, 대량의 조DCR도 효율적으로 승화시킬 수 있고, 대량의 DCR을 안정 공급 가능해진다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012228
첨부파일

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