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광학 기판에 다중 코팅을 도포하기 위한 스핀 코터

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기관명	NDSL
출원인	트랜지션즈 옵티칼 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7012257
출원일자	2016-05-10
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	광학 기판 위에 다중 코팅 조성물을 도포하기 위해 사용될 수 있는 스핀 코터가 기술된다.상기 스핀 코터는, 코팅될 광학 기판으로부터 배출되는 과량의 코팅 물질을 수집하도록 구성된 코터 볼; 코팅 동안 상기 볼 내에 광학 기판을 수용하도록 구성되고 코팅 동안 상기 광학 기판을 회전하도록 구성된, 회전가능한 쳐크; 각각 코팅 물질을 포함하는 여러 개의 코팅 저장소, 및 선택된 코팅 저장소를 코팅 볼 위의 분배 위치로 인덱싱하도록 구성되고 여러 개의 저장소를 포함하는 인덱싱가능한 코팅 저장소 플랫폼을 포함한다.상기 스핀 코터는, 하나 이상의 경화 스테이션을 포함하거나 이와 결합될 수 있으며, 여기서 각각의 경화 스테이션은 독립적으로 하나 이상의 도포된 코팅 물질을 적어도 부분적으로 경화시키도록 구성된다.각각의 경화 스테이션은, 열 경화 스테이션, UV 경화 스테이션, 및/또는 IR 경화 스테이션 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012257
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