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반도체 제조 설비용 배출유량 센서의 내구성 향상 장치

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 제이디티
출원번호	10-2016-0033356
출원일자	2016-03-21
공개번호	20160707
공개일자	2016-07-05
등록번호	10-1636242-0000
등록일자	2016-06-29
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 쉘프에 안착된 풉 내부로 공급된 N2를 포함한 제1 가스에 의하여 풉 내부의 퍼지 공간에 수용된 대상물의 퍼징을 실시한 후 제1 가스와 유해물질이 혼합된 제2 가스가 배출되는 제1 배출 배관과 연결되어 제1 가스의 일부를 혼합 공급하는 센서 퍼징 유닛을 포함한 구조로부터, 배출유량 센서의 내구성 향상 및 수명 연한을 늘일 수 있도록 하는 반도체 제조 설비용 배출유량 센서의 내구성 향상 장치에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020160033356
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