| 초록 |
정전 척은: 기판을 지지하기 위한 지지 표면 및 대향하는(opposing) 제 2 표면을 갖는 유전체 디스크(dielectric disk) ― 적어도 하나의 척킹 전극(chucking electrode)이 유전체 디스크 내에 배치됨 ― ; 유전체 디스크 아래에 배치되는 무선 주파수(RF) 바이어스 플레이트; 유전체 디스크를 가열하기 위해 RF 바이어스 플레이트 아래에 배치되는 복수의 램프들; 램프들에 의해 발생되는 열을 흡수하기 위해, 램프들 아래에 배치되는 금속성 플레이트(metallic plate); 샤프트 ― 샤프트는, RF 바이어스 플레이트에 대해 이격된 관계(spaced apart relation)로 유전체 디스크를 지지하기 위해 샤프트의 제 1 단부에서 유전체 디스크의 제 2 표면에 커플링되고, 유전체 디스크로부터 RF 바이어스 플레이트 및 금속성 플레이트를 통해 연장함 ― ; 및 RF 바이어스 플레이트, 램프들 및 금속성 플레이트에 대해 샤프트 및 유전체 디스크를 회전시키기 위해, 샤프트에 커플링되는 회전 어셈블리를 포함한다. |
