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가속도 측정 및 자이로스코피를 위한 광학 기계 센서

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기관명	NDSL
출원인	인텔 코포레이션
출원번호	10-2016-7012471
출원일자	2016-05-12
공개번호	20160623
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 개시의 실시형태는 마이크로 전자기계 시스템(MEMS) 감지 디바이스를 대상으로 하는데, 상기 MEMS 감지 디바이스는, 광 빔을 생성하도록 구성되는 레이저 장치, 광 빔의 제1 부분을 수신 및 출력하도록 구성되는 제1 도파관, 및 제1 도파관에 에바네센트 커플링되는 한 구간을 구비하며 광 빔의 제2 부분을 수신 및 출력하도록 구성되는 제2 도파관을 포함한다. 제2 도파관의 그 구간은 제1 도파관에 실질적으로 평행하게 이동가능하도록 구성되고, 제2 도파관의 그 구간의 움직임은 감지 디바이스에 인가되는 관성 변화에 의해 발생될 수도 있다. 구간의 움직임은 광 빔의 제1 부분과 제2 부분 사이에서 검출가능한 변화를 일으킬 수도 있다. 검출된 변화에 기초하여, 관성 변화가 결정될 수도 있다. 다른 실시형태가 설명되고/되거나 청구될 수도 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012471
첨부파일

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