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가속도 측정 및 자이로스코피를 위한 광학 기계 센서

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기관명	NDSL
출원인	인텔 코포레이션
출원번호	10-2016-7012564
출원일자	2016-05-12
공개번호	20160623
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 개시의 실시형태는, 디바이스에 인가되는 관성 변화를 결정하도록 구성되는 MEMS에 대한 기술 및 구성을 대상으로 한다. 하나의 예에서, 디바이스는 공진 파장을 갖는 광 빔을 생성하도록 구성되는 레이저 장치, 광 빔을 수신 및 출력하도록 구성되는 도파관, 및 변형가능한 폐루프를 포함하며 광 빔의 한 부분을 수신하기 위해 도파관에 광학적으로 커플링되는 광학 공진기를 포함할 수도 있다. 광학 공진기의 변형은 광학 공진기를 통해 이동하는 광 빔의 한 부분의 광학 경로 길이의 변화로 귀결되어, 도파관에 의해 출력되는 광 빔의 공진 파장에서의 변화를 발생시킨다. 다른 실시형태가 설명되고/되거나 청구될 수도 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012564
첨부파일

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