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제어되는 다공도를 갖는 프린팅된 화학적 기계적 연마 패드

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7019694
출원일자	2016-07-19
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	연마 패드를 제작하는 방법은, 연마 패드의 연마 층의 폴리머 매트릭스 내에 도입될 공극들의 원하는 분포를 결정하는 단계를 포함한다.폴리머 매트릭스 전구체가 증착될 위치들을 특정하고, 재료가 증착되지 않을, 공극들의 원하는 분포의 위치들을 특정하는, 3D 프린터에 의해 판독되도록 구성된 전자 제어 신호들이 생성된다.복수의 제 1 위치들에 대응하는, 폴리머 매트릭스의 복수의 층들이, 3D 프린터로, 성공적으로 증착된다.폴리머 매트릭스의 복수의 층들의 각각의 층은, 노즐로부터 폴리머 매트릭스 전구체를 토출함으로써 증착된다.폴리머 매트릭스 전구체는, 공극들의 원하는 분포를 갖는 응고된 폴리머 매트릭스를 형성하도록 응고된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019694
첨부파일

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