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다중-분광기 각도 스펙트로스코픽 엘립소메트리

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2018-7006691
출원일자	2018-03-07
공개번호	20180322
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	향상된 안정성들을 갖는 엘립소메트리(ellipsometry) 시스템들 및 엘립소메트리 데이터 수집 방법들이 개시된다.본 개시물에 따라, 다수의 미리 결정된 이산 분광기 각도들이 단일 측정을 위한 엘립소메트리 데이터를 수집하는데 이용되며, 데이터 회귀(data regression)가 이들 미리 결정된 이산 분광기 각도들에서 수집된 엘립소메트리 데이터에 기반하여 수행된다.단일 측정을 위해 다수의 이산 분광기 각도들을 이용하는 것은 엘립소메트리 시스템의 안정성을 향상시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020187006691
첨부파일

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