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유리 적층체의 제조 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	아사히 가라스 가부시키가이샤
출원번호	10-2014-0155995
출원일자	2014-11-11
공개번호	20150521
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 지지 기판, 및 상기 지지 기판 상에 배치된 무기층을 갖는, 무기층이 구비된 지지 기판과, 상기 무기층 상에 박리 가능하게 적층된 유리 기판을 구비하는 유리 적층체를 얻는 유리 적층체의 제조 방법이며, 상기 무기층 상에 상기 유리 기판을 적층시키는 적층 공정과, 상기 적층 공정 후에 가열 처리를 행하는 가열 처리 공정을 구비하고, 상기 무기층이 탄화규소, 탄화산화규소, 질화규소 및 질화산화규소로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종을 포함하며, 상기 가열 처리가 하기 (a) 내지 (d)의 조건을 만족시키는 유리 적층체의 제조 방법에 관한 것이다: (a) 승온 속도: 300℃/분 이하; (b) 가열 온도: 150 내지 600℃; (c) 유지 시간: 0.5분 이상; 및 (d) 분위기: 대기압 상태 또는 감압 상태의 대기 분위기 또는 불활성 가스 분위기, 또는 진공 분위기.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140155995
첨부파일

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