| 초록 |
벨로우즈를 가지는 미기압계가 기준 베이스(11), 하나의 연부가 베이스의 기준 표면에 체결되고, 기준 표면에 수직인 연신 방향을 가지는, 벨로우즈(12), 외부로부터 밀봉 방식으로 벨로우즈를 격리시키기 위해서 벨로우즈의 다른 연부를 폐쇄하는 커버(13)로서, 벨로우즈의 연신의 변동이 주변의 초저주파 불가청 파동에 의해서 유도되는 압력 변동에 직접적으로 비례하는 조건으로 벨로우즈가 배치되는, 커버를 포함하고; 미기압계는 커버와 일체형인 반사 부재(14) 및 간섭측정 구성요소(16)를 더 포함하고, 그러한 간섭측정 구성요소는 공급원으로부터 비임을 수신할 수 있도록 설계되고 베이스의 기준 표면과 일체형이며, 반사 요소로 비임 분율을 방출하고 이러한 반사 요소 상에서의 반사 이후에 비임을 수집할 수 있도록 하기 위해서, 벨로우즈의 연신 방향에 평행하게, 반사 요소와 대면하는 입력/출력 광학 경로를 가지며, 이러한 구성요소는, 집적 기술을 이용하여, 동일한 기판 내에서 광학적 안내 라인, 및 광학적 분리 및 조합 지역을 포함한다. |
