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평면디스플레이용 화학 기상 증착장치

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 에스에프에이
출원번호	10-2013-0150687
출원일자	2013-12-05
공개번호	20150618
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	평면디스플레이용 화학 기상 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치는, 평면디스플레이용 기판에 증착물질을 공급함과 동시에 증착물질이 기판의 표면에서 반응 후 생성된 반응물을 상부로 배기하는 가스 공급/배기판; 가스 공급/배기판의 상부에 배치되되, 가스 공급/배기판과 사이에 버퍼공간을 형성하는 백킹 플레이트; 및 백킹 플레이트를 관통하여 버퍼공간에 연통되는 반응물 배기포트와, 반응물 배기포트의 하단부에 밀착되며 가스 공급/배기판을 통해 버퍼공간으로 유입되는 반응물에 가해지는 배기압력을 균일하게 조절하도록 반응물 배기포트와 연통되는 복수의 관통공이 형성된 배기배플을 구비한 반응물 배기유닛을 포함하며, 가스 공급/배기판은, 몸체부; 및 몸체부의 하면에 마련되되, 기판과 몸체부 사이의 플라즈마 밀도를 상승시키는 플라즈마 밀도 상승부를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130150687
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