| 기업공감원스톱서비스

전자 또는 광학 리소그래피를 위한 자유 형태 분절 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	아셀타 나노그라픽
출원번호	10-2015-7026055
출원일자	2015-09-22
공개번호	20151029
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	전자 또는 광학 리소그래피를 위한 자유 형태 분절 방법 본 발명은 표면을 기본 특징부로 분절하는 컴퓨터 구현 방법을 개시하며, 여기서 희망 패턴은 직선 또는 곡선 형태를 가진다. 희망 패턴에 따라서, 겹치지 않는 또는 겹치는 유형의 제 1 분절이 수행될 것이다. 희망 패턴이 분해능 중요형인 경우, eRIF를 이용해 제 2 분절 단계를 수행하는 것이 바람직할 것이다. 이들 eRIF는 희망 패턴의 에지 상에 또는 중앙 축 또는 뼈대 상에 위치될 것이다. 본 발명은 제 1 분절 단계 및 제 2 분절 단계를 위해 사용되는 기본 특징부의 위치 및 형태를 정의하기 위한 방법 단계들을 더 개시한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157026055
첨부파일

기업조회