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중공 구조체의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2015-7026106
출원일자	2015-09-22
공개번호	20151203
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	오목 형상을 포함하는 하부 구조체(30)가 준비되고, 증착 중합법에 의해, 상기 하부 구조체 위에 유기 막으로 이루어지는 희생막(40)을 퇴적시켜, 상기 오목 형상이 상기 희생막으로 매립되고, 상기 희생막의 불필요 부분이 제거되고, 불필요 부분이 제거된 상기 희생막 위에 상부 구조체(50)가 형성되고, 상기 희생막을 제거하여, 상기 하부 구조체와 상기 상부 구조체의 사이에 공극을 형성함으로써, 중공 구조체가 제조된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157026106
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