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기판의 모델을 평가하는 방법, 검사 장치 및 리소그래피 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2016-7011043
출원일자	2016-04-26
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판의 모델을 평가하는 방법이 제시된다.제 1 파장에서의 방사선을 이용하여 스케터로메트리 측정이 수행된다.그 후, 방사선의 파장이 변화되고, 추가 스케터로메트리 측정이 수행된다.스케터로메트리 측정들이 파장들의 범위 전체에서 일치하는 경우, 모델은 충분히 정확하다.하지만, 파장이 변함에 따라 스케터로메트리 측정들이 변하는 경우, 기판의 모델은 충분히 정확하지 않다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167011043
첨부파일

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