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기판 도금 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시끼가이샤 제이씨유
출원번호	10-2015-7032809
출원일자	2015-11-17
공개번호	20160128
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	도금조 외부에 순환 펌프를 설치하지 않고, 도금액의 유속을 올림과 동시에, 도금조의 바닥으로부터 액면까지 유속을 동일하게 할 수가 있고, 그 결과, 기판 전역에 걸쳐서 도금 막 두께가 균일하고, 석출 속도도 빠른 도금이 가능한 도금 장치를 제공할 목적으로, 도금액을 수용하는 도금조, 기판을 착탈 자재로 고정 가능한 기판 홀더, 기판 홀더에 의해 고정된 기판에 대향하여 배치된 양극, 기판 홀더와 평행하도록 도금조의 상방으로 가로지르는 레일부, 이 레일부에 매달린 레일부를 따라 왕복 이동 가능한 패들을 갖춘 도금 장치로서, 이 패들에는 축부를 중심으로 회전 자재 혹은 회동 자재인 날개부가 매달려 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도금 장치에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157032809
첨부파일

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