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패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 스크린 홀딩스
출원번호	10-2015-0135508
출원일자	2015-09-24
공개번호	20160414
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	(과제) 얼라인먼트 처리에 있어서의 스루풋을 향상 가능한 기술을 제공한다. (해결 수단) 얼라인먼트 처리에서는, 우선, 제1군의 얼라인먼트 마크(Ma0, Ma1)에 대해 얼라인먼트 카메라(60)에 의한 촬상을 행하고, 제1 위치 정보를 취득한다.제어부(70)는, 이 제1 위치 정보로부터 제2 위치 정보를 연산에 의해 예측한다.그 후, 얼라인먼트 카메라(60)는, 제2 위치 정보의 예측치를 참조하여 제2군의 얼라인먼트 마크(Ma11~Ma14)를 촬상하고 제2 위치 정보의 실측치를 취득한다.촬상 시야(65)에 포함되기 쉬운 제1군의 얼라인먼트 마크에 대해 우선 촬상을 행하기 때문에, 보다 단시간에 제1 위치 정보의 실측치가 취득된다.또, 촬상 시야(65)에 포함되기 어려운 제2군의 얼라인먼트 마크에 대해서는, 제2 위치 정보의 예측치를 참조하여 촬상을 행하기 때문에, 보다 단시간에 제2 위치 정보의 실측치가 취득된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150135508
첨부파일

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