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반도체 제조 컴포넌트들을 위한 고순도 금속성 탑 코트

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7012172
출원일자	2016-05-09
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	플라즈마 에칭을 위해 반도체 챔버에서 사용하기 위한 컴포넌트를 코팅하기 위한 방법은, 반도체 제조 챔버에서 사용하기 위한 컴포넌트를 제공하는 단계; 컴포넌트를 증착 챔버 내로 로딩(loading)하는 단계; 컴포넌트 상에 코팅을 형성하기 위해, 컴포넌트 상에 금속 분말(metal powder)을 콜드 스프레이 코팅(cold spray coating)하는 단계; 및 양극산화(anodization) 층을 형성하기 위해, 코팅을 양극산화하는(anodizing) 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012172
첨부파일

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