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증착을 위한 모니터링 시스템 및 그의 동작 방법

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7020009
출원일자	2016-07-21
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	모니터링 시스템 및 그의 동작 방법은: 기판을 플랫폼 상에 제공하는 단계; 기판의 스캔을 수행하는 단계; 기판 상에 재료 층을 증착시키는 단계; 재료 층의 증착 두께를 모니터링하는 단계; 및 증착 두께에서의 오류에 기초하여 경고를 생성하는 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020009
첨부파일

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