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MEMS 앵커 및 스페이서 구조

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기관명	NDSL
출원인	픽스트로닉스 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7022231
출원일자	2016-08-12
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	디스플레이 장치는 제 1 기판, 제 1 기판에 결합되는 구조 재료로 형성되는 복수의 마이크로 전자기계 시스템(MEMS) 광 변조기들; 및 제 1 기판과 격리된 제 2 기판을 포함한다.복수의 스페이서들은 제 2 기판이 복수의 광 변조기들로부터 떨어진 최소 거리를 유지하기 위해 제 1 기판으로부터 연장한다.스페이서들은 제 1 기판과 접촉하는 표면을 갖는 제 1 폴리머 층, 제 1 폴리머 층을 캡슐화하는 제 2 폴리머 층 및 제 2 폴리머 층을 캡슐화하는 구조 재료의 층을 포함한다.스페이서들은 유체 배리어들로서 사용될 수 있고, 디스플레이 장치에서 MEMS 광 변조기들 중 하나보다 많지만 모두 미만을 둘러싸도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167022231
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