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유체 스트림을 통해 대상물을 스캐닝하기 위한 장치 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	티이엘 에프에스아이, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7008151
출원일자	2016-03-28
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	적어도 하나의 유체와 표면의 충돌을 통해 마이크로 전자 가공물의 표면을 처리하기 위한 장치와 이 장치를 작동시키는 방법이 설명되어 있다.구체적으로, 장치는 처리 챔버 내에서 적어도 하나의 유체에 의해 마이크로 전자 가공물을 처리하기 위한 내부 공간을 획정하는 처리 챔버와, 처리 챔버 내에서 가공물을 지지하는 가동형 척을 포함한다.장치는 가공물 로딩 위치와 가공물이 적어도 하나의 유체 공급부에 연결되는 적어도 하나의 노즐을 이용하여 적어도 하나의 유체에 의해 처리되는 적어도 하나의 프로세싱 위치 사이에서 가동형 척을 병진시키도록 구성되는 가공물 병진 구동 시스템과, 마이크로 전자 가공물을 회전시키도록 구성되는 가공물 회전 구동 시스템을 더 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008151
첨부파일

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